JB/T 7462—2005 热阴极电离真空规管

JB/T 7462—2005 热阴极电离真空规管

Hot cathode vacuum gauge head

本标准代替JB/T 7462-1994《热阴极电离真空规管技术条件》。

本标准与JB/T 7462-1994相比，主要变化如下:

增加了第3章术语和定义:

增加了裸规的相关内容;

增加并修改了引用标准:

修改了规管的工作环境(见4.1);

增加了裸规的封装要求(见4.3.2);

修改了检验规则的内容(见第6章)

1、范围

本标准规定了热阴极电离真空规管的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装与贮存等内容。

本标准适用于中、高真空及超高真空(限于极限压力不低于10乍a)热阴极电离真空规管，包括玻璃规管和裸规。(以下简称规管)。

2、规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。

GB/T 191 包装储运图示标志(GB/T 191-2000, eqv IS0780: 1997)

GB/T 2828.1 计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限(IQL)检索的逐批检验抽样计划(GB/T2828.1- 2003, ISO 2859-1: 1999, IDT)

GB/T 2829 周期检查汁数抽样程序及抽样表(适用于生产过程稳定性的检查)

GB/T 3163 真空技术术语

GB/T 6071 超高真空法兰

GB/T 15464 仪器仪表包装通用技术条件

JB/T 9329 仪器仪表运输，运输贮存基本环境条件及试验方法

3、术语和定义

GB/T 3163确立的以及下列术语和定义适用于本标准。

3.1、X射线极限值 X-ray limit

一种热阴极电离真空计的X射线极限值为与主要由离子收集极发射的光电子产生的残余电流所引起的相同读数的纯氮压力值。

3.2、零散性scattered

规管系数的偏差。

3.3、裸规nude gauge

一种没有外壳的规头，其敏感元件直接插人真空系统。

3.4、漏率leak rates

在规定的条件下，一种特定气体通过漏孔的流量，单位为Pa·L·s-1,

4、技术要求

4.1、工作环境

规管在下述环境条件下应能正常工作:

a)环境温度:0℃_.40℃:

b)相对湿度:成90% (25℃时)

4.2 外观

a)玻璃规管外壳应无裂缝或明显的气线、气泡等缺陷;

b)规管内壁与电极应无污染与明显的氧化现象;

c)规管外壳与管基之间的固定应牢固。

4.3、连接

4.3.1、玻璃规管与真空系统连接部分的玻壳外径应为:15.5士0.5 mm;25士1 mm.

4.3.2 、裸规封装结构应符合GB/T 6071的规定。

4.4 漏率

玻璃规管的漏率应小于10-11Pa·m3·S-1。

裸规的漏率应符合GB/T 6071的规定。

4.5、零散性

在压力为10-2Pa时，中、高真空规管系数的零散不超过120%.超高真空规管系数的零散不超过士30%.

4.6、测f范围

规管测量范围的上限由规管非线性S'不超过20%所对应的压力确定:规管测量范围下限由规管X射线极限值(Po)的10倍确定。