ASM181T氦质谱检漏仪常见故障解决

ASM181T氦质谱检漏仪常见故障解决
1、电泵故障及解决
（1）电泵不举动。审查名目有：电源电压是否畸形，电门是否翻开，绕组是否断路或接地，电机是否过热（泵结冰后是否能启动）。
（2）电泵音调异样。审查油位是否适合，油质是否变坏，油温是否＜10℃，油雾过滤器的入口有无气体排出（那末无气体排出，更替油雾过滤器）。2、分子泵故障及解决
（1）开机2min后压力批示灯不亮。此时候子泵未转动，即分子泵出口压力未到设定值或未检测到压力（通常压力应＜10-3MPa，压力过高分子泵将无奈启动）。因而，重要审查招致压力过高的成分。审查的名目有：PI1真空规管是否有问题，分子泵入口是否翻开，电泵油是否太脏或电泵是否转动，零碎是否有透露。
（2）分子泵减速批示灯不亮。CD2通路板上的保险丝烧断，更替保险丝或审查是否有短路景象。
（3）分子泵故障灯亮。审查CD2通路板设置电门是否在于R地位，此时无须在N地位。审查风扇是否停留，那末风扇畸形，请和厂家联络。3、质谱室故障
（1）真丝批示灯不亮。审查真丝开要害是否在于开放地位（再按一下），审查I/O短接插销是否仪器前面的接口。
（2）真丝批示灯闪耀。用万用表审查质谱室飞行插座1和5接报柱是否开路，若开路，更替真丝；若不开路，审查接报柱6是否和其余接头导通，肃清短路景象.
（3）遥控面板无压力批示。审查PI3规管是否有问题。
（4）当检漏结束时压力不上升。审查通路板PO318保险丝是否有问题.
（5）检漏口压力＞0.01MPa。电泵油生效或PI3规管坏.4、检测结束时涌现的故障
（1）检漏键有效（绿色批示灯亮）：审查真丝是否启动。那末真丝没有启动或者真丝断，按检漏键将没有反响。
（2）检漏键有效（批示灯不亮）。I/O短接插销未拔出仪器前面插座。那末I/O短接插销未拔出仪器前面插座，那时检漏仪将承受I/O口输出信号，而不承受遥控器信号，检漏键有效。5、主动校准终了时涌现的故障
主动校准挫败（真丝亮）白色校准灯亮。率先审查主动校准设置，电门S1是否在于OFF地位，所设置的漏率值和规范漏孔值是否统一。热度传感器是否接上；其次是审查锐敏度（那末用内部校准漏孔审查预示值和理论值统一，仪器也可运用），荡涤质谱室。6、检漏时涌现的故障
（1）不向细检形式转换，无油立式真空泵检漏口压力＜2×10-4MPa：审查粗检批示灯是否亮，那末亮，注明检漏仪置于粗检形式。再按一下粗检电门切换到主动转换状态。
（2）锐敏度低。审查三极规所测压力，待到质谱室压力＜10-6MPa时再检漏；那末压力达成，审查离子源是否被净化，荡涤离子源。
（3）氦本底太高。审查电泵油是否生效（泵油长期运用变质会吸附较多的氦气，招致氦净化），审查仪器零碎是否有漏，真空管路是否净化，审查三极规上压力是否达成10-6MPa，离子源是否净化。另外还要留神条件的净化问题，那末小组内有多台检漏仪，且氦气的运用量较大时，小组透风不好时；或者小组透风良好，但干净厂房多采纳上送风形式，气旋位置是自上而下，因为氦气分子量较小，向上放散，以致氦气放散慢，也会招致氦净化。克服方法是在检漏口的放气缸放气口（通常通大气）处，装置一个多少升定量的气瓶，该气瓶与工业气压氦上呼吸道路联接。那样，就大大缩小了条件的氦净化。
（4）通常小组检漏生产之前，会拿样件试检漏（此样件通常是生产内中中产生的成品，漏率濒临设定漏率），会发现漏的样件不漏的景象。这是所以漏的样件自身漏率较小，通过屡次检漏后，微孔被污垢阻塞而不漏了。正常不要彻底置信漏件，漏件屡次运用后就不要运用了。
（5）工装设计不正当招致检漏通不过。初检时作业畸形，作业多少次后，抽速大大减慢，检漏不过；加死堵检漏仪不漏，作业畸形。这是所以工装设计不正当所致，比方工装构造不正当，内名义太毛糙，招致过多的氦气残留；或者密封设计不正当招致密封不牢靠（因为工装设计人员对业余真空设计不相熟）。
（6）操作不正当招致故障。如作业中，有一个大漏的作件，因为操作人员断定谬误，不觉得作件漏，而去审查工装的联接或者检漏仪，屡次对这一作件检漏。那样就会发现，所有作件都不过。起因是大漏的作件经屡次检漏后，有一大批的氦气进入质谱室，造成质谱室净化。克服的方法是，理清质谱室，重复吸气排气。

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