比对法真空计校准零碎试验原理
在真空测量实际中,用真空规和真空仪器比拟准确地去测量被钻研的粘稠气体压力,以达成预期的目标,务必思忖以次3个问题:①理解被钻研的目标;②依据钻研目标的状况和钻研的目标,错误选用真空规;③钻研真空规与被测目标之间的彼此作用。那末使不得很好地克服上述3个上面的问题,将会导致较大的误差,乃至产生显然的谬误。
从真空利用观点看,在一些一定的场合(如高能钻研、空间技能等)务求有较高的测量精度(误差<1%)。因而,那样的高精度,关于粗低真空规模(1E5～1E2Pa)的真空测量来说是轻易满足的,但在高真空的规模(1E-1～1E-5Pa)内,需通过奋力能力达成。
试验原理
动态收缩法被用来绝对真空规(水解规)的校准。在等温条件下,将已知体积和压力的小容器中的永远气体收缩到已知体积的工业气压大容器中,依据波义耳定理划算出收缩后的气体压力。收缩法校准零碎是动态校准零碎,它的最大长处是真空零碎中的气旋散布是一种较现实的随机状态,可以满足气体分子静止论的根本假如。
单级动态收缩校准零碎的原理,如图1所示。
图1中V1、V2、V3别离为气源室、收缩小室和校准室的体积;p0、p别离为气源室和校准室的压力;W1～W5为弹道阀门。
当零碎各全体抽至本底压力,开放阀W2、W4和W5,使校准室和气源室在于动态真空。气体样品经阀W1送入气源室,达成所需压力p0即开放W1。经过阀W3和W4的电门作用,将收缩小室中已知压强和体积的气体,一次一次地收缩到校准室。假设收缩是等温的,而且没有气体亏耗,则第一次收缩后,校准室的压力可示意为
其中,p是校准室在动态下的本底压强,它比被校最工业气压力低2个单位级,因此能够疏忽。
V2/V3为单级零碎的体积比,V2<V3,因而V2/(V2+V3)≈V2/V3。单级收缩零碎经n次收缩后校准室的压力为
单级收缩零碎校准规模是1E-2～1E-4Pa,升高气源室压力,能够适当蔓延压力校准的上限。增大校准室体积或减小收缩小室体积,是减小体积比、蔓延压力校准上限的一种步骤,而采纳多级收缩是减小体积比的卓有成效的步骤。
在动态收缩法真空校准的研制和运用中,应留神前级规范的取舍、取样室和校准室的体积和体积比的准确测量、规范压力的划算和修改,还须要思忖吸附效应、热度效应和理论气体效应答校准压力的莫须有。
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