静态流导法校准真空计的步骤

静态流导法校准真空计的步骤
静态流导法有时也称为静态流量法和小孔法校准，它是构建在气旋陆续性原理、分子流状态和等温条件根底上的，因为是静态校准，吸气和放气的莫须有很小。在分子流状态下，流导公为构造多少何尺寸的因变量，与压力无干。其校准上限随真空失掉和小流量测量程度而蔓延。是眼前超高真空和极高真空的切实可行的校准步骤。
静态流导法校准原理是依据气体分子静止论原理，利用薄壁小孔作规范流导产生已知工业气压力的。
图30：静态流导法校准真空计的步骤
图30是这种校准步骤原理示用意。率先将校准室压力抽至校准压力上限以次2～3个单位级，那样划算校准压力时可疏忽本底的莫须有。校准气体以稳固流量pG经过针阀K，由进上呼吸道注入校准室。气体以分子流流经一薄壁小孔并由真空零碎抽除。在达成静态失调时，在小孔上方的校准室构建起已知的工业气压力p，用它来校准真空计G。校准室的压力可由式29划算。
因为零碎的无效抽速比小孔流导大很多，故使得小孔上游的压力户。远小于校准室压力p，那样小孔上游压力测量值误差对校准压力的莫须有很小。因而，只有依据校准气体流量qG、小孔流导C和小孔上游压力pb，就能够划算出校准室压力来。
校准气体的流量qG由流量表测量。流量规模为10-7～10-3Pam3s-1，其测量精度可达士O.5％，压力校准规模是10-5～lO-1Pa。
因为很难测定微弱的流量，也就间接制约了校准压力上限。采纳分流的方法，能扩大压力校准上限，这就是二级静态流导校准法。与真空计校准有关的篇章：真空计校步骤准概述动态收缩校准低真空计步骤静态流导法校准真空计的步骤规范压缩式真空计比对校准真空计的步骤

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　更多技术文章