真空混合漏孔检漏步骤探讨
在用质谱仪作混合气体配比试验时,两个1L玻璃瓶别离装有压强为数千帕的两种气体,经Φ6mm的玻管继续混合时,需经3～4h后,质谱图上两种气体的峰高比才稳固,正常配气后寄存12h才运用。这种依附气体放散而非高真空下分子自在静止的混合内中是湍急的,某个试验与现钻研的混合漏孔的物理内中是类似的。
对漏孔的延时特点钻研,在试验数据里,再有多少个没能引证的景象,一是图6上示意的M=40的Ar峰上升速率远大于M=29代办的大气回升，第二个问题是:那末提早工夫以5h划算,则漏孔的原储存的总大气量应有0125cm3(在1atm时)。很显然,检漏的传感器不太可能有0125cm3的漏孔体积。上述抵触可能是充入的示透气体因塑料袋包扎不严混入大气,也可能存在其它漏孔,再有待于进一步钻研确认。
混合漏孔因示透气体深浅的一呼百应进度极慢,且存在延时效应,故用通例的示透气体喷吹,无奈探得漏孔的存在和测得漏率值的大小。
真空元器件生年中仅用通例质谱检漏法,有可能漏检混合漏孔。提议辅用质谱计比照法克服出品的快捷测定务求。质谱计比照法即把被检元件用隔离阀与质谱计真空零碎联接,视察隔离阀启闭后大气质谱峰的变迁确定漏孔的存在。也可采纳另一种辅助步骤,即把成批元件寄存于真空室内,先抽气,后充示透气体He,让漏孔内有充足工夫抽除原存贮大气和再存贮示透气体,而后逐个存入,在维持期内测定He气深浅,因为有剩余长维持工夫,不会因示透气全衰减而检漏挫败。
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